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　　刻蝕（ET）：LAM　9400、9600

 

　　AMAT　CENTURA　II＆I

 

　　AMAT　SEMVision　G2

 

　　正(zheng)離子加入（DF）：VARIAN

 

　　EATON（axcelis）

 

　　NISSIN

 

　　AMAT　PI9500　9200

 

　　光(guang)刻(ke)（PH）：NIKON　NSR

 

　　ASML　5500

 

 　　月亮能太(tai)陽熱(re)水器發電PECVD：centrotherm（管式電鍍(du)）Roth＆Rau（平板試電鍍(du)瑞典(dian)）

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