KASHIYAMA企業的成品在半導體材料材料加工領域制造行業內和智能化信息制造行業內中已是獲得了*高的口碑與相信。針對是基于半導體材料材料加工制造行業內的相信,就是KASHIYAMA企業年短期一來不斷的開發銳意進取真空室技術工藝的最終結果。
KASHIYAMA工業營造的干井式進口真空度系統泵產品系列已然作為半導營造業與夜晶表明營造的行業的的標準儀器。并在*高分值的工藝起上賺取了用戶的認可與評說。不但干井式進口真空度系統泵外,魯式及排氣口結合式進口真空度系統泵儀器在廣泛性的研究方向中有起它的危力。
產品的圖解個人信息:
プロダクトガイド - LEH/LEMシリーズ - 製品の特徴 ポンプの構造設計原理:當社製水封式真空環境ポンプは円形ケーシングと羽根車より本身を構成し羽根車はケーシングと偏心輪した地位に取り付けられています。ケーシング內に適當量の水を入れて羽根車を回転させると、水は遠腦力によってケーシングと共同の円款式の水膜を作りながら運動します。
これにより水膜と隣接する羽根と羽根とによって密閉された空間が生じ、羽根車が回転するにしたがって空間は容積変化して、吸到、圧縮、排気を連続的に行ない非常的に一般率なポンプとなっています。
公害問題の面から抓住気體中に含まれる種々の有危害ガスが水に融掉または混雜して排出到されるのを防ぐため封水を會直接淌出させないで循環させて利用する方式方法もあります。
LEH/LEMシリーズの特徴:
水蒸気や水珠を含んだ気體の排気に適である。
引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる。
摩擦力部件が少なく系統故障がないので連続運転に耐えられる。
低騒音でかつ振動が少ない。
連続排気で脈動がない。
軸封にメカニカルシールを操作し、メンテナンスが極易。
全機種エルモ形で従來のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい。
定的流量弁を內蔵して適量給水方式方法を採用している。
LEH型は2段ポンプで高抽真空用に、LEM型はモーター直結型ポンプでコンパクト、軽量です。
渦流泵LEH100MS
真空箱泵LEH100MS
進口進口真空泵LEH100MS
重力作用泵LEH100MS
高壓氣泵NeoDry 36E
負壓泵NeoDry 36E
進口進口真空泵NeoDry 36E
蒸空泵NeoDry 36E