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美國INFICON電子檢漏儀
INFICON檢漏儀 電子檢漏儀
· 用組合法拉*杯/電子倍增器的各種原子質量單位范圍
· 自動EM增益調整
· 九十年的動態范圍
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· 5E-15乇MDPP（100 AMU版）
INFICON檢漏儀 電子檢漏儀
典型應用:
· 氦檢漏各種工具模塊
· 模塊的條件進行預防性維護監測
· 記錄數據后預防性維護
· 率上升的測量
· 背景狀態監測
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